小许同学 发表于 2024-8-20 10:28:34

fischione 1050 (离子减薄仪)求助

先是在减薄过程中突然发现观察室挡板关不上了,当时听见了卡顿的声音,然后赶紧停止运行了,试了一下样品台可以上升下降,排除了气瓶动力不足的情况,当时想着说不定一会就好了,然后就接着运行了(一般在没有关挡板点运行的时候系统会自动帮你运行,但是这次没有)。
等我剪出一个洞后我就点了stop停止,准备换样品,结果发现样品台升不上来了,当时觉得可能是系统卡住了,就关了分子泵,重启试了一下,但是重启后还是升不上来,样品台只是转一下但是不升,界面显示not initialized ,现在因为样品台升不上,分子泵也打不开,应该怎么解决呀,急需大家的帮忙
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